书目信息

书名: 微机电系统及工程应用 
作者: 莫锦秋 梁庆华 王石刚 编著
出版信息: 北京   化学工业出版社  2015.08
开本页数: 26cm  191页
丛书名: 现代机电一体化技术丛书
单 册:
中图分类: TN4
科图分类:
主题词: 微电子技术--系统工程
电子资源:
ISBN: 978-7-122-23883-2
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    微机电系统及工程应用/莫锦秋, 梁庆华, 王石刚编著.-北京:化学工业出版社,2015.08
    191页:图;26cm.-(现代机电一体化技术丛书)
    
    
    ISBN 978-7-122-23883-2:CNY58.00
    本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章, 分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了介绍。
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正题名:微机电系统及工程应用     索取号:TN4/40         预约/预借

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