书目信息

书名: 直拉单晶硅工艺技术 
作者: 黄有志 王丽 主编
出版信息: 北京   化学工业出版社  2009.07
开本页数: 26cm  130页
丛书名:
单 册:
中图分类: TN304.105.3 TN3
科图分类:
主题词: 半导体材料--直拉硅单晶--生产工艺--教材
电子资源:
ISBN: 978-7-122-05500-2
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    直拉单晶硅工艺技术/黄有志, 王丽主编.-北京:化学工业出版社,2009.07(2015.10第5次印刷)
    130页:图;26cm
    太阳能光伏产业——硅材料系列教材
    
    ISBN 978-7-122-05500-2:CNY25.00
    本书共8章, 包括:单晶硅的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、原辅材料的准备、直拉单晶硅生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等内容。
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正题名:直拉单晶硅工艺技术     索取号:TN3/22         预约/预借

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