书名：
微细加工与微纳加工技术及应用
作者：
李伯民
，
李清
，
赵波
编著
出版信息：
北京
化学工业出版社
2021.01
开本页数：
26cm
214页
丛书名：
单 册：
中图分类：
TG66
科图分类：
主题词：
特种加工--技术
电子资源：
ISBN：
978-7-122-36940-6
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微细加工与微纳加工技术及应用=Micro machining and micro-nano machining technologies and applications/赵波，李伯民，李清等编著.-北京：化学工业出版社，2021.01 214页：图；26cm 使用对象：本书可供机电、微电子、新材料、通信、能源、化工等领域的科研人员、技术人员阅读或参考，也可作为相关专业大专师生的教学参考书 ISBN 978-7-122-36940-6：CNY79.00 本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。 ●
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